目前对于无机酸碱性气体的处理方法主要以吸收法为主，其原理为藉由气液两相接触的气体吸收程序，将气体中的溶质吸收输送至液体内部，常见的吸收洗涤装置有：喷淋塔(spary column)、板式吸收塔(plate absorption tower)及填充塔(packed tower)等，所用的装置，必须能使气体与液体充分接触，以提高吸收效率。其中又以填充塔为各种气体吸收洗涤塔中最被广泛使用，而国内半导体及光电业厂家，也多以使用湿式洗涤塔来作为处理酸性及碱性气体之防制设施。骊源环保（LEEPN）近年在半导体及光电产业客户包括：因特尔、华虹NEC、中芯国际、龙腾光电、龙飞光电、奇美电子、阜康同创、西虹电子、创亿欣电子、九晶电子、亿田硅业等近60家企业。

  填充式洗涤塔塔中通常填充着比表面积很大的填料物(packing)，其目的乃欲使气体与液体间具有充分接触的机会。操作时，气体混合由塔底进入，液体吸收剂则自塔顶由一分布器喷淋而下，然后在其流经填料的途中，与逆流而上的气体接触，并吸收气相中的溶质，遂成一溶液自塔底流出。

  一般而言填料在使用时，其堆置的方式常可成两大类：

1、任意堆置(dumped packing)的填料；2、整齐堆置(stacked packing)的填料。而国内厂家多半使用价廉质轻的塑胶材质填料，并以任意堆置方式填充。一般在设计洗涤塔时亦须考虑几个部份：
1、尺寸：为使气体速度均匀一致，并在可能发生迴流之处设置分调节板。
2、喷嘴的选择：一般洗涤液为循环使用，故高压喷嘴式的洗涤塔对于所使用的液体要求最严格。
3、液体处理设备：为防止洗涤液造成环境污染问题，因此经常循环使用洗涤液以减少废水量，但也因此增加了污染物的浓度，另外选择不同的洗涤液可同时处理不同的气体。由于洗涤废液具有腐蚀性，故亦需使用防蚀性材质。
4、润湿因子：填充式洗涤塔为一利用洗涤液体与气状污染物之气液接触，进而吸收处理污染物之设备。因此，为了使液体能够均匀分佈在填充物上，已增加气体与液体完全接触之面积。
5、填充物之比表面积：填充物有非常多种，其可选择的直径尺寸从30mm 到95mm 都有。
6、液气比：洗涤塔是利用液体将空气中污染物吸收处理，所以液气比为一相当重要的操作惨数，其对洗涤塔的效率有很大的影响。
7、操作参数的评估与设计： 根据Perry’s Chemical Engineers’Handbook：其总传输单位数(Number of overall mass transfer unit；NOG)，可由气液平衡关系求出。
8、填充高度的设计。

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